高純?nèi)戎须s質(zhì)定量、定性裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110142786.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112946126B 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN112946126B 申請公布日 2022-07-15
分類號 G01N30/02（2006.01）I;G01N30/20（2006.01）I;G01N30/66（2006.01）I;G01N30/72（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李紀(jì)明;楊建中;陳施華;華小林;杜勇 申請（專利權(quán)）人 福建德爾科技股份有限公司
代理機構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)蛟洋工業(yè)集中區(qū)工業(yè)路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高純?nèi)戎须s質(zhì)定量、定性裝置及方法。裝置包括：切換單元，包括進氣管道、出氣管道、六通閥、第一四通閥及第二四通閥，六通閥包括a閥門至f閥門，第一四通閥包括g閥門、h閥門、i閥門和j閥門，第二四通閥包括k閥門、l閥門、m閥門和n閥門；進氣管道與出氣管道分別連接a閥門和b閥門；定量環(huán)，兩端分別連接c閥門和f閥門；載氣單元，分別連接e閥門、i閥門和m閥門；分離單元，包括兩端分別連接d閥門和g閥門的氟醚油柱、兩端分別連接j閥門和k閥門的第一分子篩、與l閥門連接的第二分子篩；分析單元，包括與h閥門連接的第一TCD、連接于第一分子篩與k閥門之間的第二TCD、連接于第二分子篩的PDD。