固定裝置及退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022149314.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213680978U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213680978U 申請公布日 2021-07-13
分類號 C30B33/02（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 唐勇;吳春龍;吳曉桂;劉火陽 申請（專利權(quán)）人 廣東先導(dǎo)先進(jìn)材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張向琨
地址 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種固定裝置及退火爐。固定裝置用于對爐子上的溫度控制裝置的控溫?zé)犭娕歼M(jìn)行固定，固定裝置包括支撐板和連接組件，支撐板固定在爐子的外側(cè)，連接組件的一端固定連接于支撐板的遠(yuǎn)離爐子的一側(cè)，另一端用于固定控溫?zé)犭娕?，其中，連接組件能夠沿控溫?zé)犭娕嫉难由旆较蛞苿右允箿囟瓤刂蒲b置根據(jù)控溫?zé)犭娕忌烊霠t內(nèi)的深度來調(diào)節(jié)爐內(nèi)的溫度。本公開的固定裝置將控溫?zé)犭娕脊潭ㄔ跔t子上，有效地防止了控溫?zé)犭娕枷鄬t子晃動，提高了溫度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)退火爐的溫度的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。