一種液體回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022915042.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214022247U 公開（公告）日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214022247U 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 郭炳熙;周鐵軍;米艷嬌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東先導(dǎo)先進(jìn)材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 顏希文;宋亞楠
地址 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號(hào)B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及液體回收技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種液體回收裝置，包括：清洗盤，所述清洗盤用于夾緊晶圓，所述清洗盤的側(cè)壁設(shè)有通孔；轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述清洗盤轉(zhuǎn)動(dòng)；供液組件，所述供液組件用于向所述清洗盤噴入液體；第一收液盤，所述第一收液盤具有第一收液腔，所述第一收液盤設(shè)有與所述第一收液腔連通的排液管；第一升降機(jī)構(gòu)，所述第一升降機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述第一收液盤相對(duì)所述清洗盤升降，以使所述第一收液腔包圍或脫離所述清洗盤；及第二收液盤，所述第二收液盤具有第二收液腔，所述第一收液盤設(shè)置在所述第二收液腔內(nèi)。本實(shí)用新型可有效避免在回收的液體中混入其它液體，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同液體的精準(zhǔn)回收。