一種太陽(yáng)能電池用硅基薄膜的低成本生產(chǎn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811255812.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109449256B 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN109449256B 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) H01L31/20（2006.01）I;H01L31/028（2006.01）I;H01L31/0368（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 含山縣領(lǐng)創(chuàng)新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥廣源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅滬光
地址 201400 上海市奉賢區(qū)化學(xué)工業(yè)區(qū)目華路201號(hào)1幢904室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽(yáng)能電池用硅基薄膜的低成本生產(chǎn)方法，包括如下步驟：（1）襯底清洗處理、（2）薄膜沉積處理、（3）退火晶化處理、（4）冷卻成型處理。本發(fā)明生產(chǎn)方法的工藝步驟搭配合理，整體的生產(chǎn)效率高、成本低，便于推廣應(yīng)用，生產(chǎn)的硅基薄膜使用品質(zhì)好，性能穩(wěn)定，壽命長(zhǎng)，極具市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力和生產(chǎn)使用價(jià)值。