一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620831540.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN205872128U 公開(kāi)（公告）日 2017-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN205872128U 申請(qǐng)公布日 2017-01-11
分類號(hào) B62B3/04(2006.01)I;B62B3/10(2006.01)I 分類 無(wú)軌陸用車輛;
發(fā)明人 胡均海 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江恒都光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭文濤
地址 314416 浙江省嘉興市海寧市袁花鎮(zhèn)袁溪路118號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，轉(zhuǎn)移車體上水平固定有定位板，在定位板上設(shè)置有多個(gè)定位孔，定位板的下方水平設(shè)置有支撐板，支撐板上表面與各定位孔正對(duì)的位置設(shè)置有支撐塊，支撐塊的上表面為支撐平面，在支撐板的下方設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，支撐板移動(dòng)到最高處時(shí)支撐平面與定位板的上表面相平，支撐板移動(dòng)到最低處時(shí)支撐平面低于定位板的上表面；定位板或/和支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，支撐板或/和定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱與導(dǎo)向套筒活動(dòng)套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠。該設(shè)備既能對(duì)各晶棒形成定位防止晶棒在轉(zhuǎn)移過(guò)程中發(fā)生位移，也便于晶棒取放，并且支撐板的豎向移動(dòng)也相對(duì)靈活順暢。