一種用于質(zhì)譜儀的真空進(jìn)樣裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121256291.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215118830U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN215118830U 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) H01J49/24（2006.01）I;H01J49/04（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鐘晟;鄭杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳泰萊生物科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳至誠(chéng)化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉英
地址 518000廣東省深圳市羅湖區(qū)南湖街道南湖路3009號(hào)國(guó)貿(mào)商住大廈19D
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于質(zhì)譜儀的真空進(jìn)樣裝置，包括樣品靶、靶板、進(jìn)樣艙、艙門(mén)和樣品靶移動(dòng)平臺(tái)，所述艙門(mén)包括蓋門(mén)和卡凸，所述卡凸設(shè)置在蓋門(mén)下表面的中間位置，所述進(jìn)樣艙包括蓋槽和卡槽，所述蓋門(mén)剛好卡在蓋槽內(nèi)，所述卡凸剛好卡在卡槽內(nèi)，所述卡槽的一側(cè)側(cè)壁上設(shè)有一排氣孔，所述蓋門(mén)一側(cè)邊通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)件安裝在蓋槽的側(cè)邊，所述靶板處在卡槽的底部，所述樣品靶放置在靶板內(nèi)，所述樣品靶移動(dòng)平臺(tái)能夠推動(dòng)靶板在進(jìn)樣艙下方和離子源之間來(lái)回移動(dòng)。本實(shí)用新型將蓋門(mén)和卡凸分別與蓋槽和卡槽配合，在抽真空負(fù)壓下，有效防止艙門(mén)移動(dòng)或晃動(dòng)，而且在抽真空時(shí)，真空度越高，艙門(mén)密封性越好，并有快速、高效的將樣品靶在進(jìn)樣艙和離子源之間來(lái)回移動(dòng)。