晶圓盒輸送裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710149815.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106876312A 公開（公告）日 2017-06-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN106876312A 申請(qǐng)公布日 2017-06-20
分類號(hào) H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳功 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司上海分公司
代理機(jī)構(gòu) 上海翰信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司上海分公司;上海大族富創(chuàng)得科技有限公司
地址 201114 上海市閔行區(qū)蘇召路1628號(hào)2幢1034室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種晶圓盒輸送裝置，包括承載機(jī)構(gòu)、平移機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)，其中，承載機(jī)構(gòu)用于放置晶圓盒，平移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述承載機(jī)構(gòu)分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移，輸送機(jī)構(gòu)用于輸送平移機(jī)構(gòu)，第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向構(gòu)成空間笛卡爾直角坐標(biāo)系或空間笛卡爾斜角坐標(biāo)系，通過了承載機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)結(jié)合的方式，直接由輸送機(jī)構(gòu)移至開門器前，并通過平移機(jī)構(gòu)將晶圓盒準(zhǔn)確的送到開門器上，因此省去了人工或機(jī)械搬運(yùn)晶圓盒之一步驟，提高了效率，降低了成本，且自動(dòng)化程度高。