晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710149660.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107068604A 公開（公告）日 2017-08-18
申請公布號 CN107068604A 申請公布日 2017-08-18
分類號 H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳功 申請（專利權(quán)）人 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司上海分公司
代理機構(gòu) 上海翰信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司上海分公司;上海大族富創(chuàng)得科技有限公司
地址 201114 上海市閔行區(qū)蘇召路1628號2幢1034室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種晶圓盒輸送裝載系統(tǒng)，包括晶圓盒、輸送裝置和開盒裝置，開盒裝置包括主板、開盒板、開鎖組件、第一驅(qū)動件和吸附組件，主板上設(shè)置有一開口，開盒板與開口配合，且開盒板位于主板的后側(cè)，開盒板上活動連接兩個開鎖組件，該兩個開鎖組件穿過開盒板與固定設(shè)置在開盒板后側(cè)的第一驅(qū)動件傳動連接，開盒板上還固定連接有兩個與盒蓋相對應(yīng)的吸附組件；輸送裝置包括承載機構(gòu)，平移機構(gòu)和輸送機構(gòu)，晶圓盒放置在承載機構(gòu)上，承載機構(gòu)設(shè)置在平移機構(gòu)上，平移機構(gòu)設(shè)置在輸送機構(gòu)上，輸送機構(gòu)帶動承載機構(gòu)移動到主板前側(cè)后，平移機構(gòu)帶動承載機構(gòu)分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移，進而實現(xiàn)晶圓盒與開盒板的配合。