一種擇優(yōu)取向的鉭靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010191434.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111519147B 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN111519147B 申請公布日 2022-03-11
分類號 C23C14/34（2006.01）I;C22F1/18（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳燕飛;賴華生;張金祥;文小強;袁德林;王玉香;郭春平;普建;劉雯雯;周有池 申請（專利權(quán)）人 贛州有色冶金研究所有限公司
代理機構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 劉瀟
地址 341000 江西省贛州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)迎賓大道62號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及靶材制備技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種擇優(yōu)取向的鉭靶材及其制備方法。本發(fā)明通過扭轉(zhuǎn)變形控制鉭錠內(nèi)部織構(gòu)取向，通過扭轉(zhuǎn)使鉭錠內(nèi)產(chǎn)生沿直徑方向的切向變形，進而使鉭錠內(nèi)部織構(gòu)方向發(fā)生定向改變，從而達到控制材料織構(gòu)的目的，本發(fā)明通過扭轉(zhuǎn)變形能夠提高靶材組織的均勻性、降低靶材的晶粒尺寸、提高（111）、（100）織構(gòu)占優(yōu)的組分比例；并且本發(fā)明提供的制備方法無需對鉭錠進行鍛打和軋制，能夠減少混入靶材內(nèi)部的雜質(zhì)含量。