一種制備高純?nèi)饧淄榈姆椒?/p>

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810628166.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108675914A 公開（公告）日 2018-10-19
申請公布號 CN108675914A 申請公布日 2018-10-19
分類號 C07C17/389;C07C17/383;C07C19/16 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 董利;慶飛要;郭占英;賈曉卿 申請（專利權(quán)）人 宇極（廊坊）新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京兆君聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡敬紅
地址 065001 河北省廊坊市開發(fā)區(qū)耀華道1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備高純?nèi)饧淄榈姆椒?。原料三氟碘甲烷在一定溫度和壓力下，以一定流量?jīng)過兩級吸附柱，除去大部分水以及部分有機(jī)雜質(zhì)后，進(jìn)入精餾塔中，在低溫下進(jìn)行間歇精餾，塔頂放空除去C1?C5的鹵代烷烴、鹵代烯烴、鹵代炔烴、氮?dú)狻⒀鯕?、二氧化碳、一氧化碳等雜質(zhì)，從而得到純度大于99.99％的高純?nèi)饧淄?，其中H2O含量低于30ppmv，HF含量低于1ppmw，符合半導(dǎo)體刻蝕和電氣絕緣行業(yè)要求。該方法工藝合理，操作簡單，是制備高純?nèi)饧淄榈睦硐爰夹g(shù)。