一種逐步抬升晶圓的晶圓清洗方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110210728.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113035743A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113035743A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67;H01L21/683 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 錢(qián)誠(chéng);李剛;吳清 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫亞電智能裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京商專(zhuān)潤(rùn)文專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳平 |
| 地址 | 214000 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道111-12號(hào)國(guó)家軟件園鯨魚(yú)座C403 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種逐步抬升晶圓的晶圓清洗方法，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。使用的半導(dǎo)體晶圓清洗裝置，包括補(bǔ)液柜和清洗柜，補(bǔ)液柜連接于清洗柜頂部，清洗柜內(nèi)部設(shè)置有夾裝組件和清洗機(jī)構(gòu)，清洗柜底壁連接有底板，底板和補(bǔ)液柜頂壁均開(kāi)設(shè)有第一孔洞相連通，底板頂部連接有絲桿，絲桿設(shè)置有四組，四組絲桿外壁連接有升降板，轉(zhuǎn)動(dòng)組件連接于升降板內(nèi)壁，清洗柜內(nèi)壁連接有滑桿，滑桿外壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊，夾裝組件連接于滑動(dòng)塊外壁，夾裝組件輸出端連接有晶圓片；本發(fā)明非常適用于多組晶圓的清洗藥液殘留，并能有效防止在清洗時(shí)水霧飛濺重新附著在晶圓表面，有效增加清洗效果和清洗效率，增加晶圓良率。 |
