磁控濺射鍍膜機(jī)的工件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220669495.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN202925091U 公開（公告）日 2013-05-08
申請公布號(hào) CN202925091U 申請公布日 2013-05-08
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 溫旭輝;潘明元 申請（專利權(quán)）人 成都南光機(jī)器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 成都南光機(jī)器有限公司
地址 610000 四川省成都市龍泉驛區(qū)星光西路115號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種磁控濺射鍍膜機(jī)的工件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，包括承片結(jié)構(gòu)（1）、轉(zhuǎn)盤（2）、連接塊（3）、大齒輪（6）、軸承（15）和動(dòng)力裝置（12），所述的轉(zhuǎn)盤（2）通過連接塊（3）與軸承（15）一端連接，所述的軸承（15）另一端與動(dòng)力裝置（12）連接，所述的大齒輪（6）固定在轉(zhuǎn)盤（2）和軸承（15）之間，大齒輪（6）和轉(zhuǎn)盤（2）兩端分別用承片結(jié)構(gòu)（1）相連接，還包括與大齒輪（6）垂直連接的自轉(zhuǎn)大齒輪（7）、襯套（8）和大齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)裝置（5），所述的襯套（8）位于自轉(zhuǎn)大齒輪（7）和軸承（15）之間，所述的大齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)裝置（5）與自轉(zhuǎn)大齒輪（7）一端連接，大齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)裝置（5）內(nèi)分布有電機(jī)。本實(shí)用新型通過上述結(jié)構(gòu)，即可實(shí)現(xiàn)工件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置向任意方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠更好的發(fā)揮鍍膜機(jī)的功能，實(shí)現(xiàn)大型光學(xué)原件的多方向鍍膜。