一種基于CSP的MEMS紅外測溫傳感器及其生產工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010814952.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111912532A 公開（公告）日 2020-11-10
申請公布號 CN111912532A 申請公布日 2020-11-10
分類號 G01J5/14(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱磊;魏冬;周曉瑜 申請（專利權）人 無錫芯奧微傳感技術有限公司
代理機構 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 代理人 無錫芯奧微傳感技術有限公司
地址 214101江蘇省無錫市錫山經濟開發(fā)區(qū)錫山大道533號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種紅外測溫傳感器，具有功能集成、應用場景廣泛的效果。本發(fā)明公開了一種基于CSP的MEMS紅外測溫傳感器，包括PCB基材，所述PCB基材上設置有MEMS熱電堆、NTC電阻、阻容和ADC，所述ADC用于將MEMS熱電堆的電壓信號轉換為數(shù)字信號，所述PCB基材外套設有樹脂外殼，所述樹脂外殼上開設有位于MEMS熱電堆的正上方的開口，所述樹脂外殼嵌設有覆蓋開口的長通紅外透鏡。借助CSP封裝技術和ADC的配合，實現(xiàn)了ADC和MEMS熱電堆的一體化設置，擴大了紅外測溫傳感器的適用范圍。??