一種具有可見光波段的深紫外LED器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010026984.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111223969B 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN111223969B 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L33/06;H01L33/14;H01L33/44;H01L33/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張駿;袁章潔;戴江南;陳長清 申請（專利權）人 武漢深紫科技有限公司
代理機構 武漢智嘉聯(lián)合知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 易賢衛(wèi)
地址 430000 湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)東信路數(shù)碼港（光谷創(chuàng)業(yè)街73號）E幢一層E1236室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有可見光波段的深紫外LED器件及其制備方法，所述具有可見光波段的深紫外LED器件由下至上依次設置有藍寶石襯底、AlN本征層、n型AlGaN層、電流擴展層、深紫外波段量子阱有源層、可見波段量子阱有源層、電子阻擋層、p型AlGaN注入層、p型GaN接觸層、DBR層、p電極以及n電極。本發(fā)明通過在外延結構中單片集成基于AlGaN材料的深紫外波段量子阱與基于InGaN材料的可見光波段的量子阱，從而真正實現(xiàn)單顆器件既有深紫外波段發(fā)光又有可見光波段發(fā)光，并簡化了雙色燈珠器件的制作工序，降低了雙色燈珠器件制作成本。