一種超精研特征的檢測系統(tǒng)及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911133867.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110836857A 公開（公告）日 2020-02-25
申請公布號 CN110836857A 申請公布日 2020-02-25
分類號 G01N21/25 分類 測量；測試;
發(fā)明人 廖金鑫 申請（專利權(quán)）人 杭州深度視覺科技有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 杭州深度視覺科技有限公司
地址 310052 浙江省杭州市濱江區(qū)六合路368號海外高層次人才創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新基地北樓一樓B5
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種超精研特征的檢測系統(tǒng)及檢測方法，其中，所述超精研特征的檢測系統(tǒng)通過承托模塊、光源模塊和圖像檢測模塊的配合首先獲取待檢測部件的待檢測面圖像，然后通過所述圖像檢測模塊對所述待檢測面圖像進行分析以獲取表征所述待檢測面紋理特征的能量譜，并根據(jù)所述能量譜判定所述待檢測面是否具有超精研特征，實現(xiàn)了依靠機器視覺對待檢測部件的待檢測面是否具有超精研特征的判斷，不依賴人力進行主觀檢測，且檢測效率較高，檢測準(zhǔn)確性高，能夠顯著減少人力檢測成本。