一種MPCVD設(shè)備的冷卻結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120345365.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215251169U 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN215251169U 申請公布日 2021-12-21
分類號 C23C16/511（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡常青;鄒益 申請（專利權(quán)）人 上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 上海邦德專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余娜
地址 201707上海市青浦區(qū)新科路303號1幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MPCVD設(shè)備的冷卻結(jié)構(gòu)，包括連接板，連接板表面固定有冷卻管，冷卻管上端固定有水箱，水箱遠(yuǎn)離冷卻管的一側(cè)開設(shè)有注水口，連接板內(nèi)焊接有防護(hù)外殼，防護(hù)外殼內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有散熱風(fēng)扇，散熱風(fēng)扇遠(yuǎn)離防護(hù)外殼的一側(cè)固定有驅(qū)動電機，驅(qū)動電機的下表面固定有支撐板，驅(qū)動電機表面固定有固定扣，且固定扣螺紋連接有支撐板表面，支撐板遠(yuǎn)離驅(qū)動電機的一側(cè)固定有冷凝器，且冷凝器兩側(cè)開設(shè)有管道并延伸進(jìn)冷卻管內(nèi)，有益效果是；該冷卻設(shè)備采用了水循環(huán)冷卻來降溫，節(jié)約成本的同時也有較好的冷卻效果，且該冷卻設(shè)備內(nèi)增加了微型轉(zhuǎn)動扇可將MPCVD設(shè)備內(nèi)的熱溫吸入空氣存儲箱內(nèi)，并由風(fēng)機輸送至冷凝器內(nèi)，使其進(jìn)行降溫在釋放。