一種適用于過濾電子級磷酸的濾料

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410544008.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105561649A 公開（公告）日 2016-05-11
申請公布號 CN105561649A 申請公布日 2016-05-11
分類號 B01D29/05(2006.01)I;B01D29/58(2006.01)I;C01B25/234(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 王立平;王國強;王東輝;耿瑞娟;張穎 申請（專利權）人 洛陽盛潔環(huán)?？萍加邢薰?/a>
代理機構 洛陽市凱旋專利事務所 代理人 洛陽盛潔環(huán)保科技有限公司
地址 471000 河南省洛陽市高新技術開發(fā)區(qū)青城路北端
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于過濾電子級磷酸的濾料，其特征是：包括兩層在PTFE濾布，所述兩層PTFE濾布上設置圓孔，所述兩層PTFE濾布上圓孔之間設置有PTFE圓形通道，所述PTFE圓形通道的長度為8~12mm，所述PTFE濾布為高縝密基布，所述PTFE濾布的內表面覆有Gore膜，所述PTFE濾布的外表面附有PTFE膜。本發(fā)明采用Gore膜對磷酸進行過濾,通過與PTFE濾布的復合使用，代替通常使用的化纖濾布進行過濾,可以控制微粒要求0.2μm以下，滿足工廠適用于大規(guī)模集成電路加工工藝，用于小于0.09-0.20um線寬電路蝕刻。