硅片刻蝕設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010825240.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111916376A 公開（公告）日 2020-11-10
申請公布號 CN111916376A 申請公布日 2020-11-10
分類號 H01L21/67;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔣旭東;張弛;王志剛;王四海;蔣成斌;顧建 申請（專利權(quán)）人 南京卓勝自動化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙淑芳
地址 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)將軍大道219號太平工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片刻蝕設(shè)備，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置有傳送裝置和刻蝕裝置，所述刻蝕裝置設(shè)置在傳送裝置一側(cè)，所述刻蝕裝置包括驅(qū)動裝置、安裝板和泡棉棒，所述安裝板安裝在機(jī)架上，所述泡棉棒轉(zhuǎn)動設(shè)置在所述安裝板兩側(cè)，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動泡棉棒轉(zhuǎn)動，所述泡棉棒下端浸泡在清洗劑池內(nèi)，所述傳送裝置將硅片傳送至刻蝕裝置工位，驅(qū)動裝置驅(qū)動泡棉棒轉(zhuǎn)動對硅片兩側(cè)進(jìn)行清洗。本發(fā)明可以消除側(cè)面PN結(jié)，使得硅片充分使用，有效避免做成電池片的漏電現(xiàn)象。