晶圓區(qū)域性問(wèn)題的分析系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110310750.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112710942B 公開(kāi)（公告）日 2021-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN112710942B 申請(qǐng)公布日 2021-06-08
分類號(hào) G01R31/26;G06F30/39 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊恭乾;路峰;高大會(huì);聞國(guó)濤;駢文勝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海偉測(cè)半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海和華啟核知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王仙子
地址 201201 上海市浦東新區(qū)東勝路38號(hào)A區(qū)2棟2F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種晶圓區(qū)域性問(wèn)題的分析系統(tǒng)及方法。本發(fā)明提供的晶圓區(qū)域性問(wèn)題的分析系統(tǒng)包括失效抓取模塊，抓取每個(gè)測(cè)試點(diǎn)的失效情況；失效模型模塊，具有設(shè)定的失效模型；失效模型匹配模塊，根據(jù)所抓取的每個(gè)測(cè)試點(diǎn)的失效情況，與所述失效模型進(jìn)行匹配，當(dāng)獲得匹配時(shí)，輸出對(duì)應(yīng)的多個(gè)測(cè)試點(diǎn)的位置和失效代碼；待處理模塊，根據(jù)所述多個(gè)測(cè)試點(diǎn)的位置，獲得在所述多個(gè)測(cè)試點(diǎn)周圍區(qū)域測(cè)試通過(guò)的點(diǎn)的位置，列為有風(fēng)險(xiǎn)的測(cè)試點(diǎn)。本發(fā)明使得測(cè)試通過(guò)的點(diǎn)更穩(wěn)定，避免功能性分析滯后，提高了良率。