一種93K測試機(jī)與待測產(chǎn)品的匹配性檢測系統(tǒng)及其檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110234625.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113075521A 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN113075521A 申請公布日 2021-07-06
分類號 G01R31/26（2014.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 傅郁曉;楊恭亁;駢文勝;路峰;關(guān)姜維 申請（專利權(quán)）人 上海偉測半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅曉鵬
地址 200013上海市浦東新區(qū)東勝路38號A區(qū)2棟2F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種93K測試機(jī)與待測產(chǎn)品的匹配性檢測系統(tǒng)及其檢測方法，其中所述檢測方法包括：（S1）分別被設(shè)置能夠采集93K測試機(jī)的配制信息和待測晶圓的測試項(xiàng)有關(guān)信息；（S2）自動(dòng)地接收經(jīng)由采集而獲取的所述93K測試機(jī)的配制信息，并將所述配制信息轉(zhuǎn)錄于晶圓生產(chǎn)廠商記載晶圓測試項(xiàng)有關(guān)的模板所定義的一比對模板；（S3）比對所述待測晶圓的測試項(xiàng)有關(guān)信息和轉(zhuǎn)錄于所述比對模板中的信息；和（S4）輸出所述比對結(jié)果。