一種五軸真空位移臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021785249.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213302258U 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN213302258U 申請公布日 2021-05-28
分類號 G01N35/10(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 董國材;張祥;梁楓;張金龍 申請（專利權(quán)）人 國成儀器（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 213000江蘇省常州市常州西太湖科技產(chǎn)業(yè)園祥云路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及真空設(shè)備,具體是一種五軸真空位移臺，X向位移板與Y向位移板之間滑動(dòng)連接，X向位移板或Y向位移板與壓板之間滑動(dòng)連接，并分別裝有X向和Y向調(diào)整裝置，X向位移板或Y向位移板與波紋管一端焊接，波紋管另一端與法蘭盤焊接，法蘭盤與X向位移板或Y向位移板之間裝有Z向調(diào)整螺桿，壓板與旋轉(zhuǎn)調(diào)整裝置底端法蘭連接，偏轉(zhuǎn)調(diào)整裝置底端與旋轉(zhuǎn)調(diào)整裝置法蘭連接，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)在超高真空環(huán)境下的樣品的立體驅(qū)動(dòng)，Z向采用焊接波紋管密封，達(dá)到放出氣體少的要求，中空構(gòu)造，同時(shí)X、Y、Z向直線滑驅(qū)動(dòng)順暢，X、Y、Z三個(gè)方向的驅(qū)動(dòng)位置可精確控制,可針對不同的角度對樣品進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和偏轉(zhuǎn)調(diào)整，易于操作。??