一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201920150204.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN209570747U | 公開（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申請公布號 | CN209570747U | 申請公布日 | 2019-11-01 |
| 分類號 | G02B21/34（2006.01）I | 分類 | 光學; |
| 發(fā)明人 | 張祥; 梁楓; 丁帥 | 申請（專利權）人 | 國成儀器（常州）有限公司 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213149 江蘇省常州市武進經濟開發(fā)區(qū)祥云路6號國成 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置，包括樣品托底座和樣品托，樣品托上設有突出，樣品托底座上設有凹槽，突出與凹槽相匹配，形成滑動軌道，通過對稱性設計，SPM的針尖在中間的樣品附近，樣品托和樣品的熱膨脹或收縮會以對稱中心向外膨脹或向內收縮，從而使得樣品中間位置相對針尖的位置保持不變。大幅減少因為樣品溫度升高和溫度的波動而引起的樣品橫向熱漂移。 |
