一種廢晶收集裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121666754.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215539343U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215539343U 申請公布日 2022-01-18
分類號 B01D46/24（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 李鑫;尹林 申請（專利權(quán)）人 蘇州工業(yè)園區(qū)雨竹半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王新愛
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號2幢2樓西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種廢晶收集裝置，涉及廢晶收集領(lǐng)域，包括固定板，所述固定板的一端插接有排氣管，所述排氣管的一端與連接器的內(nèi)側(cè)固定連接，所述連接器的底端設(shè)置有收集箱，所述收集箱的一側(cè)設(shè)置有連接板，所述連接板的一側(cè)設(shè)置有連接管。本實用新型通過連接管、過濾器、濾芯和反沖管的使用，使得使用過程中氣流呈流動狀態(tài)，不會出現(xiàn)氣流混亂，導(dǎo)致廢晶被收集箱的內(nèi)壁擊碎產(chǎn)生大量碎屑和粉塵，通過濾芯的過濾，避免廢晶被排，通過驅(qū)動電機(jī)、氣泵的使用，產(chǎn)生氣流反沖氣流，方便將濾芯一側(cè)堵塞粘連的廢晶吹落出，使得濾芯設(shè)置保持良好的過濾能力，同時方便將會收集箱的廢晶排出。