一種便于安裝且檢測(cè)范圍廣的刻蝕機(jī)刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121645803.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215374016U 公開（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN215374016U 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) G01D11/00（2006.01）I;G01D11/30（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李鑫;陳榮華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州工業(yè)園區(qū)雨竹半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王新愛
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號(hào)2幢2樓西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種便于安裝且檢測(cè)范圍廣的刻蝕機(jī)刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，包括底板，所述底板的頂部固定連接有調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板通過水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)活動(dòng)連接有支撐板，所述支撐板的內(nèi)部開設(shè)有鎖定槽，所述支撐板的一側(cè)通過鎖定機(jī)構(gòu)固定連接有固定座，所述固定座的另一側(cè)固定連接有固定套筒，利用水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)使得操作人員可以快速調(diào)節(jié)檢測(cè)探頭的水平位置，從而使得本裝置可以根據(jù)不同具體參數(shù)來調(diào)節(jié)刻蝕終點(diǎn)的檢測(cè)范圍，進(jìn)而大大提高了本裝置的適用范圍和實(shí)用性，并使得本裝置可以通過鎖定機(jī)構(gòu)快速將檢測(cè)探頭安裝在支撐板上，從而大大提高了檢測(cè)探頭的安裝和拆卸效率，進(jìn)而使得本裝置可以更方便的對(duì)檢測(cè)探頭進(jìn)行更換和維修。