一種軟性基板表面涂布光阻的預(yù)熱處理裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122886955.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216704967U | 公開（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216704967U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-10 |
| 分類號(hào) | B05D3/02（2006.01）I | 分類 | 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 劉峰;吳銘欽 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州工業(yè)園區(qū)雨竹半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州拓云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號(hào)2幢2樓西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種軟性基板表面涂布光阻的預(yù)熱處理裝置，包括預(yù)熱座，所述預(yù)熱座的上方設(shè)有預(yù)熱罩，所述預(yù)熱罩的頂部設(shè)有調(diào)節(jié)架，所述調(diào)節(jié)架一側(cè)開設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)部設(shè)有絲桿，本實(shí)用新型通過設(shè)有的加熱架與紅外線加熱管的使用，能夠?qū)迳系墓庾枳鳠崽幚?，讓光阻微硬化，傳送時(shí)即可避免因軟性基板變形而造成光阻流動(dòng)，從而使光阻厚度均勻，同時(shí)配合設(shè)有的調(diào)節(jié)架、絲桿、電機(jī)、滑板和拉桿的使用，使其能夠改變紅外線加熱管與基板之間距離，使其加熱效果更好；通過設(shè)有的連接頭、插桿、拉板、限制桿和彈簧的配合使用，使其能夠方便加熱架和紅外線加熱管的拆裝，使其便于更換或維修。 |
