一種用于化學(xué)氣相沉積或蝕刻后的高粉塵尾氣處理濾芯
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122887769.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216909553U | 公開（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216909553U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
| 分類號(hào) | B01D46/10（2006.01）I;B01D46/78（2022.01）I;B01D46/48（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 劉峰;吳銘欽 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州工業(yè)園區(qū)雨竹半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州拓云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號(hào)2幢2樓西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于化學(xué)氣相沉積或蝕刻后的高粉塵尾氣處理濾芯，包括濾芯，所述濾芯的底部通過固定機(jī)構(gòu)連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的外壁套設(shè)有軸套，所述軸套的內(nèi)部轉(zhuǎn)軸的外壁由外到內(nèi)依次對(duì)稱設(shè)有軸承和磁極塊，所述磁極塊之間轉(zhuǎn)軸的外壁上套設(shè)有磁鐵，本實(shí)用新型通過設(shè)有的轉(zhuǎn)軸、軸套、軸承、磁極塊、磁鐵磁流體液和排氣口之間的配合使用，使其能夠避免對(duì)高粉塵尾氣處理時(shí)，防止粉塵堵塞濾芯孔，并通過高速旋轉(zhuǎn)濾芯將粉塵甩出以通過濾筒進(jìn)行收集，提高了濾芯和幫浦的壽命；通過設(shè)有的連接頭、固定塊、連接塊、螺桿和限制塊之間的配合使用，使其能夠便于將濾芯與轉(zhuǎn)軸連接固定，同時(shí)也方便拆卸更換濾芯。 |
