一種半導體黃光設備顯影機抽風管路氣液分離裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121632847.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215340694U 公開（公告）日 2021-12-28
申請公布號 CN215340694U 申請公布日 2021-12-28
分類號 G03F7/30（2006.01）I;H01L21/027（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 李鑫;朱書輝 申請（專利權）人 蘇州工業(yè)園區(qū)雨竹半導體有限公司
代理機構 北京權智天下知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 王新愛
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號2幢2樓西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體黃光設備顯影機抽風管路氣液分離裝置，涉及氣液分離裝置技術領域，包括分離盒、中轉盒、通入管、自動閥、輸送管、分離室、排出管、排液管、存液盒、齒條、浮板、轉動軸、復位彈簧、卡勾、卡槽和按鈕。本實用通過設置分離盒、分離室、存液盒和排液管起到了對通風管路進行氣液分離的作用，可避免抽風管路的抽風值受到影響，保障了顯影效果，同時其操作簡單、拆裝方便，提高了操作人員的維護效果，綜合使用效果較佳，還通過設置齒條、浮板、轉動軸和傳動齒輪起到了實時監(jiān)測存液盒中廢液儲量的作用，避免了無法及時了解廢液存量，而導致其溢出的情況發(fā)生，便于操作人員及時進行清理，便于進行使用。