一種波長可調(diào)諧的深紫外雙光束激光系統(tǒng)及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010652175.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111641099B 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN111641099B 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01S3/08;H01S3/108;H01S3/109 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 尚凡杰;林杰;湯紹富;楊敬樹;潘登杲;章鵬飛;徐康偉 申請（專利權(quán)）人 浙江富春江環(huán)保科技研究有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州信義達(dá)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳繼算
地址 311401 浙江省杭州市富陽區(qū)東洲街道江濱東大道138號第一幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種波長可調(diào)諧的深紫外雙光束激光系統(tǒng)，涉及激光系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域。激光器射出激光形成第一光路，第一光路上依次設(shè)置有二倍頻晶體、三倍頻晶體、波長分離鏡、諧振腔，波長分離鏡分離出一路激光形成第二光路，諧振腔返回一路激光形成第三光路；合束片設(shè)置于第二光路與第三光路的相交處，形成第四光路，五倍頻晶體設(shè)置于第四光路上；所述諧振腔內(nèi)設(shè)置有BBO晶體及控制所述BBO晶體相位角轉(zhuǎn)動(dòng)的調(diào)諧裝置；本發(fā)明還公開了一種波長可調(diào)諧的深紫外雙光束激光系統(tǒng)的方法。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)同時(shí)輸出兩束滿足二噁英在線監(jiān)測要求的深紫外激光且其中一束在一定波長范圍內(nèi)可調(diào)諧。