微機電系統(tǒng)傳感器、其制造方法及電子設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111315809.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114148986A 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN114148986A 申請公布日 2022-03-08
分類號 B81C1/00（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 鄒泉波;周良;丁凱文;張賀存;李剛;周汪洋;趙海輪;冷群文 申請（專利權(quán)）人 歌爾微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王永亮
地址 266101山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號青島國際創(chuàng)新園二期F樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種微機電系統(tǒng)傳感器、其制造方法及電子設(shè)備。該制造方法包括：在器件襯底上的犧牲層上形成微機電系統(tǒng)傳感器的器件層，其中，所述器件層包括位于犧牲層上的機械層和位于機械層上的感測層，以及所述機械層中與器件襯底中要形成的背洞對應(yīng)的部分是封閉的；在所述器件襯底及犧牲層中形成背洞；以及在機械層中形成與背洞連通的連通溝槽。