一種用于晶圓中心自動定位的線接觸晶圓臺盤、裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011619423.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112670228A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN112670228A 申請公布日 2021-04-16
分類號 H01L21/683;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈凱;戴直義 申請（專利權(quán)）人 芯鈦科半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
代理機構(gòu) 上?？剖⒅R產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁云
地址 200070 上海市靜安區(qū)共和新路912號1102-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于晶圓中心自動定位的線接觸晶圓臺盤、裝置，所述的晶圓臺盤包括圓柱臺(1)，所述的圓柱臺(1)上表面設(shè)有用于支承晶圓的圓錐面(2)，所述的圓錐面(2)與所述的圓柱臺(1)同軸且圓錐面(2)頂點朝向圓柱臺(1)下底面方向，當(dāng)所述的晶圓置于所述的圓錐面(2)上時，所述的晶圓邊緣與所述的圓錐面(2)線接觸，所述的晶圓中心與圓錐面(2)同軸，所述的圓柱臺(1)還設(shè)有用于將該圓柱臺(1)固定在外部臺面上的固定孔(3)。用于晶圓中心自動定位的裝置包括晶圓臺盤和用于抓取晶圓(4)的機械手(5)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、可靠等優(yōu)點。