一種用于ICP-MS的閥門裝置及真空系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210238351.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114623277A 公開(kāi)（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN114623277A 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) F16K31/04（2006.01）I;F16K31/50（2006.01）I;F16K3/02（2006.01）I;F16K3/316（2006.01）I;F16K3/314（2006.01）I;F16K37/00（2006.01）I;G01N27/626（2021.01）I;H01J49/04（2006.01）I;H01J49/24（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 許夢(mèng)祥;王冕;梁炎;郭茂坤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 瑞萊譜（杭州）醫(yī)療科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州易中元兆專利代理有限公司 代理人 -
地址 310052浙江省杭州市濱江區(qū)建業(yè)路511號(hào)華創(chuàng)大廈17層1701室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于ICP?MS的閥門裝置，閥門裝置設(shè)于ICP?MS儀第一級(jí)真空室與第二級(jí)真空室之間，所述閥門裝置包括閥座，閥座內(nèi)設(shè)有絲桿，絲桿一端連接密封板，絲桿另一端連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，閥座還連接導(dǎo)向裝置，所述密封板置于導(dǎo)向裝置內(nèi)滑動(dòng)構(gòu)成第一級(jí)真空室與第二級(jí)真空室之間的聯(lián)通或分隔。本發(fā)明還公開(kāi)了設(shè)有上述閥門裝置的真空系統(tǒng)。本發(fā)明控制電機(jī)輸出信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)閥門位移速度、位移距離的精準(zhǔn)控制，相比氣缸動(dòng)作的精度更高，使真空系統(tǒng)更可靠，提升了儀器的使用壽命與穩(wěn)定性。