ZnSn合金靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110403534.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113308672A 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN113308672A 申請公布日 2021-08-27
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C22C13/00（2006.01）I;C22C18/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張玉玲;甘志儉 申請（專利權(quán)）人 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 孔令聰
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)汾湖經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)汾楊路東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種ZnSn合金靶材及其制備方法。ZnSn合金靶材的制備方法，包括如下步驟：將Zn粉末和Sn粉末混合均勻，得到混合粉體；對混合粉體進(jìn)行預(yù)壓成型，壓力為400T以上并保壓處理，得到ZnSn合金毛坯；采用冷等靜壓的工藝對ZnSn合金毛坯進(jìn)行強(qiáng)化處理，得到ZnSn合金靶坯；以及對ZnSn合金靶坯進(jìn)行綁定成型，得到ZnSn合金靶材。本發(fā)明技術(shù)方案的ZnSn合金靶材的制備方法，采用粉末狀態(tài)的原料Zn和Sn，之后先將混合粉體預(yù)壓得到具有初步形狀的ZnSn合金毛坯，再采用冷等靜壓進(jìn)行強(qiáng)化處理，能夠得到致密度和晶粒良好的高性能ZnSn合金靶材。