ZMO靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110381326.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113073302A 公開（公告）日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113073302A 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) C23C14/35（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C4/10（2016.01）I;C23C4/16（2016.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張玉玲;甘志儉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 孔令聰
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)汾湖經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)汾楊路東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種ZMO靶材及其制備方法。ZMO靶材的制備方法包括如下步驟：將ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散劑、粘接劑和水混合均勻，研磨后得到漿料；將漿料進(jìn)行噴霧造粒，得到ZMO粉體；將ZMO粉體進(jìn)行燒結(jié)，得到ZMO燒結(jié)粉體；在保護(hù)氣體氛圍下，將ZMO燒結(jié)粉體熱噴涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及將ZMO靶坯進(jìn)行拋光和加工處理，得到ZMO靶材。上述ZMO靶材的制備方法工藝簡(jiǎn)單，有利于提高生產(chǎn)效率。經(jīng)試驗(yàn)證明，本發(fā)明的上述ZMO靶材的制備方法制備得到ZMO靶材的相對(duì)密度≥90％，ZMO靶材的電阻率≤5×10Ω·cm，因此，通過上述ZMO靶材的制備方法能夠得到致密度和導(dǎo)電性良好的高性能ZMO靶材。此外，本發(fā)明還涉及一種ZMO靶材的制備方法。