一種晶圓夾持裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911201117.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110993555A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110993555A 申請公布日 2020-04-10
分類號 H01L21/687 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孔劍;臧曉園;徐晨晨;劉景業(yè) 申請（專利權(quán)）人 東臺鐳創(chuàng)光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董建林
地址 224200 江蘇省鹽城市東臺經(jīng)濟開發(fā)區(qū)中歐產(chǎn)業(yè)園4號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓夾持裝置，包括夾持臂、連接組件和至少三個晶圓夾鉤；所述夾持臂的側(cè)面設(shè)有吸氣口，所述夾持臂內(nèi)部安裝有與所述吸氣口相連的抽氣機構(gòu)；所述連接組件包括與所述夾持臂底部固接的豎軸、與所述豎軸垂直固接的橫軸以及設(shè)于所述橫軸外圍的圓環(huán)，所述圓環(huán)能夠以橫軸為中心轉(zhuǎn)動；所述晶圓夾鉤安裝于所述圓環(huán)且能夠相對圓環(huán)移動。本發(fā)明能夠高效夾取豎向或橫向放置的晶圓。