一種晶圓夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911201105.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111128842A 公開（公告）日 2020-05-08
申請公布號 CN111128842A 申請公布日 2020-05-08
分類號 H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孔劍;李志華;劉景業(yè);徐晨晨 申請（專利權(quán)）人 東臺鐳創(chuàng)光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董建林
地址 224200 江蘇省鹽城市東臺經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)中歐產(chǎn)業(yè)園4號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓夾具，屬于芯片加工技術(shù)領(lǐng)域，包括主臂以及與主臂轉(zhuǎn)動連接的側(cè)臂，所述側(cè)臂連接有長度能夠調(diào)節(jié)的伸縮臂，所述伸縮臂的末端設(shè)有吸盤，所述主臂的底部設(shè)有限位槽。本發(fā)明操作方便，夾持牢固性高，晶圓不易滑落摔碎。