一種監(jiān)控和調(diào)節(jié)刻蝕槽液位穩(wěn)定性的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410340267.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104091768B 公開（公告）日 2016-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN104091768B 申請(qǐng)公布日 2016-08-24
分類號(hào) H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 任軍林;陸銀川;黃浩;陳志;陳浩;魏青竹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泗陽騰暉光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 中利騰暉光伏科技有限公司;蘇州騰暉光伏技術(shù)有限公司
地址 223800 江蘇省宿遷市泗陽縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)眾興東路211號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種監(jiān)控和調(diào)節(jié)刻蝕槽液位穩(wěn)定性的方法，依次包括以下步驟：（a）、測試點(diǎn)處分別安放液位儀，記標(biāo)準(zhǔn)液位高度Hs和該測試點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)液位公差ΔHs；（b）、記錄任一測試點(diǎn)處的液位高度Hn，當(dāng)該測試點(diǎn)液位高度Hn與其標(biāo)準(zhǔn)液位高度Hs之差絕對(duì)值超出所述的標(biāo)準(zhǔn)液位公差ΔHs時(shí)，相應(yīng)調(diào)整所述刻蝕槽的前后擋板高度、排風(fēng)口的開度、進(jìn)藥管的進(jìn)液量；（c）、當(dāng)該測試點(diǎn)液位高度Hn與其標(biāo)準(zhǔn)液位高度Hs之差絕對(duì)值差超出所述的標(biāo)準(zhǔn)液位公差ΔHs時(shí)，重復(fù)步驟（b）。這樣一方面能夠定量的監(jiān)控刻蝕槽的液位狀況，為控制刻蝕槽工藝穩(wěn)定性提供了一種直接有效的方法；另一方面可以有規(guī)律地對(duì)刻蝕槽的液位進(jìn)行調(diào)節(jié)，加快了刻蝕槽液位的調(diào)節(jié)速度。