一種用于TFT-LCD顯示屏用ITO蝕刻液及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110492057.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113201345A 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN113201345A 申請公布日 2021-08-03
分類號 C09K13/06（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 許磊;黃德新;何燁謙 申請（專利權(quán)）人 合肥中聚和成電子材料有限公司
代理機構(gòu) 安徽申策知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 程艷梅
地址 231602安徽省合肥市肥東縣合肥循環(huán)經(jīng)濟示范園長松路東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及濕電子化學(xué)品技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種用于TFT?LCD顯示屏用ITO蝕刻液，包括以下按重量百分比計的組分：硫酸10％?20％，添加劑1％?5％，表面活性劑0.05％?0.5％，消泡劑0.01％?0.1％，余量水，所述添加劑為無機鹽和有機物的混合物；本發(fā)明所公開的蝕刻液以硫酸為主要成分，生產(chǎn)工藝簡單，酸濃度易于控制及在線檢測；增加了表面活性劑具有表面張力低、無濁點、濕潤力強，有效降低ITO蝕刻液的表面張力，蝕刻過程中速率適中；消泡劑能消除蝕刻過程中表面活性劑產(chǎn)生的泡沫，滿足ITO膜蝕刻高精度加工要求，對光阻無破壞作用，對蝕刻線條保護好，圖形完整；同時采用的無機鹽可以調(diào)控蝕刻后ITO斜面坡度，以更好滿足客戶需求。