一種基于雙層壓電膜的直線型驅(qū)動器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011344010.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112532104A 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN112532104A 申請公布日 2021-03-19
分類號 H02N2/04(2006.01)I;H02N2/00(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;H02N2/08(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 秦風(fēng) 申請（專利權(quán)）人 成都度控科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都聚蓉眾享知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張輝
地址 610000四川省成都市高新區(qū)合作路89號9幢1單元20層2009號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種基于雙層壓電膜的直線型驅(qū)動器，通過薄膜沉積工藝在基底正表面依次沉積下電極、下壓電膜、中間電極、上壓電膜和上電極形成多層結(jié)構(gòu)；利用刻蝕工藝對所述多層結(jié)構(gòu)進(jìn)行光刻及圖形化，形成多根形狀、尺寸相同的條形驅(qū)動單元；采用深刻蝕工藝對基底背部加深槽反應(yīng)離子刻蝕和/或濕法腐蝕，將基底的厚度減薄至預(yù)設(shè)厚度以下，制備出背部腔體以及形成驅(qū)動振膜，獲得基于雙層壓電膜的直線型驅(qū)動器。本發(fā)明每一層壓電致動材料厚度可控制在百納米至數(shù)微米范圍，能有效降低器件整體厚度。此外，本發(fā)明的制備工藝與標(biāo)準(zhǔn)MEMS產(chǎn)線完全兼容，具備批量化生產(chǎn)能力。因此，本發(fā)明能解決壓電直線型電機(jī)的小型化、薄型化和批量化問題。??