一種晶棒數(shù)控一體式滾圓機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220456256.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216967194U 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN216967194U 申請公布日 2022-07-15
分類號 B24B5/04（2006.01）I;B24B5/50（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王潔;奚衍罡;張宇;楊青 申請（專利權(quán)）人 南通罡豐科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 226000江蘇省南通市高新區(qū)金橋西路一號聚恒工業(yè)園12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及晶圓片加工技術(shù)領(lǐng)域，一種晶棒數(shù)控一體式滾圓機，包括工作臺、頭架、尾架和砂輪機構(gòu)，頭架和尾架安裝在工作臺的頂面，砂輪機構(gòu)安裝在工作臺的背板上，且工作臺上滑動安裝有防護罩；頭架內(nèi)安裝減速電機，其中減速電機的輸出軸上套裝有晶棒主動固定架，尾架上安裝有對應的液壓伸縮桿，且液壓伸縮桿遠離尾架的一端設(shè)有與頭架對應的晶棒從動固定架；頭架和尾架的底面上開設(shè)有安裝槽，其中安裝槽內(nèi)安裝有驅(qū)動輪和控制電箱。本申請降低了晶棒加工過程的污染以及提高了其安全性能。