一種APC金屬導(dǎo)電膜配線生產(chǎn)工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610922623.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106560457A 公開(kāi)（公告）日 2017-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN106560457A 申請(qǐng)公布日 2017-04-12
分類號(hào) C03C17/36(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 屠有軍;桂丹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江大明玻璃有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314204 浙江省平湖市獨(dú)山港區(qū)興港路789號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種APC金屬導(dǎo)電膜配線生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：提供基板并對(duì)所述基板進(jìn)行預(yù)處理；在通入工作氣體和反應(yīng)氣體的條件下，在磁控反應(yīng)濺射鍍膜腔室內(nèi)利用磁控反應(yīng)濺射在預(yù)處理過(guò)的所述基板上沉積ITO膜層，經(jīng)過(guò)黃光蝕刻形成配線；以及在真空度為0.1Pa～1.0Pa的條件下，在所述ITO膜層上沉積APC膜層，并經(jīng)黃光蝕刻形成配線。磁控反應(yīng)濺射的靶材分別為氧化銦錫和銀鈀銅合金，工作氣體為氬氣，反應(yīng)氣體為氧氣。相對(duì)于傳統(tǒng)的鉬鋁鉬金屬膜的制備方法，通過(guò)實(shí)施APC替代MOALMO鍍膜、蝕刻工藝及配合ITO?TH工藝的技術(shù)路線，實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)電性能、高信賴性、更具經(jīng)濟(jì)效益的SENSOR配線的批量化產(chǎn)出，滿足日益增長(zhǎng)的平板、手機(jī)、車載、工控、醫(yī)療用觸摸屏的市場(chǎng)需求。