一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210175715.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114566449A 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN114566449A 申請公布日 2022-05-31
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L29/872（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張興杰;程萬坡;卜正林 申請（專利權(quán)）人 江蘇韋達(dá)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京康達(dá)聯(lián)禾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)科技園路8號8
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于蝕刻裝置領(lǐng)域，尤其是一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，針對現(xiàn)有的蝕刻裝置在使用時，液體沒有進(jìn)行完全的收集容易造成污染，也不便于對需要蝕刻的二極管進(jìn)行注液，會造成液體的浪費問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括框體，所述框體上轉(zhuǎn)動連接有蓋板，所述框體的內(nèi)壁上固定安裝有過濾網(wǎng)，所述蓋板的底部滑動連接有對稱設(shè)置的滑動架，所述滑動架的數(shù)量為兩個，兩個滑動架相互靠近的一側(cè)固定安裝有對稱設(shè)置的軌道桿，本發(fā)明通過在蓋板上調(diào)節(jié)噴槍的位置，就可方便噴頭噴射液體對過濾網(wǎng)上的二極管進(jìn)行蝕刻，調(diào)整好外殼的位置后還可自動的對外殼的位置進(jìn)行定位，大大增加了噴槍在使用時的穩(wěn)定性。