一種薄膜太陽能電池的制備方法及其制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811004524.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110931591B 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN110931591B 申請公布日 2021-07-13
分類號 H01L31/054;H01L31/0445;H01L31/0216;H01L31/0236 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 白安琪 申請（專利權）人 鴻翌科技有限公司
代理機構 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 代理人 李雪
地址 518000 廣東省深圳市前海深港合作區(qū)前灣一路1號A棟201室（入駐深圳市前海商務秘書有限公司）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種薄膜太陽能電池的制備方法及其制備裝置。該制備方法包括在薄膜太陽能電池的窗口層表面利用電化學沉積法制備納米結構陣列層。該制備裝置包括儲液池，儲液池內存儲有電解液；電池傳遞裝置，用于將薄膜太陽能電池以窗口層朝下并浸潤在電解液中的狀態(tài)下以預定的速度穿過儲液池；電化學工作站，電化學工作站位于儲液池的上方。本發(fā)明通過卷對卷式電化學沉積工藝在薄膜太陽能電池的窗口層制備納米結構陣列，利用亞波長尺寸的納米結構形成蛾眼效應，在窗口層和空氣界面形成漸變折射率，有效抑制電池表面入射光的反射，增大光吸收，提高薄膜太陽能電池的光電轉換效率；同時卷對卷式的工藝流程可以直接整合到現有產線中，實現在線連續(xù)生產。