晶圓級(jí)電容式微機(jī)電系統(tǒng)器件的測試裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111177146.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113804976A 公開（公告）日 2021-12-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN113804976A 申請(qǐng)公布日 2021-12-17
分類號(hào) G01R27/26（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 柯亮;林武;李妍君;金羊華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龐聰雅
地址 300450天津市自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)（空港經(jīng)濟(jì)區(qū)）西三道158號(hào)金融中心4-501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓級(jí)電容式微機(jī)電系統(tǒng)器件的測試裝置，其包括：樣品臺(tái)，其用于承載待測試的晶圓；測試板，其包括探針卡單元和電容測量芯片；電容測量芯片包括引腳激勵(lì)接口和通信接口，引腳激勵(lì)接口和探針卡單元上設(shè)置的探針電連接，探針和晶圓上的晶片的焊盤可控制的電連接，電容測量芯片用于測量與探針電連接的所述晶片的電容式微機(jī)電系統(tǒng)器件的初始電容；上位機(jī)，其與電容測量芯片的通信接口通信連接，其用于存儲(chǔ)電容測量芯片實(shí)時(shí)測量到的各顆晶片的電容式微機(jī)電系統(tǒng)器件的初始電容，并輸出相應(yīng)的電容?電壓曲線。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)簡單、實(shí)施成本較低，自動(dòng)化水平較高，具有良好的可靠性。