MEMS諧振器的檢測(cè)電路
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121679883.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215728495U | 公開（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215728495U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-01 |
| 分類號(hào) | G01R31/00（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉堯;凌方舟;蔣樂躍;丁希聰;林武 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州簡(jiǎn)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 龐聰雅 |
| 地址 | 300450天津市自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)（空港經(jīng)濟(jì)區(qū)）西三道158號(hào)金融中心4-501室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種MEMS諧振器的檢測(cè)電路。所述檢測(cè)電路包括：MEMS諧振器；電荷放大器，其輸出端輸出諧振感應(yīng)信號(hào)；整流器，用于將所述諧振感應(yīng)信號(hào)中的負(fù)值部分翻轉(zhuǎn)或斬?cái)嗟玫秸骱蟮闹C振感應(yīng)信號(hào)；積分器，其被配置的以設(shè)定積分時(shí)間為周期對(duì)整流后的諧振感應(yīng)信號(hào)進(jìn)行積分；采樣電路，采樣所述積分器的輸出得到積分采樣值；比較器，其得到數(shù)字方波信號(hào)；計(jì)數(shù)器，其以數(shù)字方波信號(hào)的預(yù)定跳變沿為觸發(fā)信號(hào)進(jìn)行計(jì)數(shù)，單位時(shí)間的計(jì)數(shù)值記為N1；處理單元，其根據(jù)計(jì)數(shù)值N1和單位時(shí)間計(jì)算獲得自然諧振頻率F0，根據(jù)自然諧振頻率F0、積分采樣值計(jì)算獲得品質(zhì)因子Q。這樣，可以快速的、準(zhǔn)確的對(duì)MEMS諧振器的諧振頻率和品質(zhì)因子進(jìn)行測(cè)量。 |
