一種氮化鎵基激光器管芯的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210012559.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102545051A 公開（公告）日 2012-07-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN102545051A 申請(qǐng)公布日 2012-07-04
分類號(hào) H01S5/22(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張書明;王輝;劉建平;王懷兵;楊輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州納睿光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 陶海鋒;陸金星
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路398號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氮化鎵基激光器管芯的制備方法，包括如下步驟：1）在襯底上外延生長(zhǎng)N型GaN電極接觸層、N型光限制層、N型波導(dǎo)層、發(fā)光有源區(qū)、P型波導(dǎo)層、P型光限制層和P型電極接觸層；得到氮化鎵基激光器外延結(jié)構(gòu)；2）將氮化鎵基激光器外延結(jié)構(gòu)刻蝕至P型光限制層，并刻去部分P型波導(dǎo)層，形成激光器的脊型結(jié)構(gòu)；3）在上述激光器的脊型結(jié)構(gòu)的表面蒸鍍P型歐姆接觸電極；4）在P型歐姆接觸電極的表面形成p型層加厚電極；5）將襯底減??；6）蒸鍍N型歐姆接觸電極金屬；7）分割形成單個(gè)激光器的管芯。本發(fā)明的制備方法可以簡(jiǎn)化激光器的制作工藝，使激光器的脊型的側(cè)壁形成金屬接觸，增大金屬接觸面積，減小接觸電阻，降低工作電壓，增加散熱效果。