一種透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010243190.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113470890A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113470890A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) H01B13/00（2006.01）I;H01B5/14（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧虎賁;李珍;范海文;李弋舟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長(zhǎng)沙韶光鉻版有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 盧宏;胡凌云
地址 410129湖南省長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)長(zhǎng)榔路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)及其制作方法，所述透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)具有基板和金屬網(wǎng)格；包括如下步驟：提供由玻璃或石英制成的基板；在所述基板的至少1個(gè)表面鍍金屬氧化物層；在所述金屬氧化物層的表面制作光刻膠層，然后對(duì)光刻膠層進(jìn)行刻蝕處理，使得光刻膠層內(nèi)形成與所述金屬網(wǎng)格匹配的凹槽；以所述金屬氧化物層為陰極，鍍層金屬為陽(yáng)極，電鍍，在金屬氧化物層的表面形成金屬網(wǎng)格；然后，去除剩余的光刻膠層，獲得透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)成品。本發(fā)明的工藝簡(jiǎn)單，無需金屬納米粒子等電鍍陰極材料，適合工業(yè)化生產(chǎn)，可以基于金屬氧化物和金屬網(wǎng)格得到更加優(yōu)化的透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)。