移動旋轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121199808.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214749862U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214749862U 申請公布日 2021-11-16
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 謝越森;鐘榮斌;袁波;張毓盛;徐大超;郭靖;張韶軒 申請（專利權(quán)）人 東莞安晟半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王雪莎
地址 523330廣東省東莞市石排鎮(zhèn)廟邊王石崗路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種移動旋轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測設(shè)備，涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，該移動旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括支撐座、載盤和轉(zhuǎn)動驅(qū)動器；載盤轉(zhuǎn)動連接于支撐座，載盤設(shè)有通孔，通孔用于放置待檢測晶圓；轉(zhuǎn)動驅(qū)動器安裝于支撐座并與載盤傳動連接，用于驅(qū)動載盤繞其中心法線轉(zhuǎn)動。通過該移動旋轉(zhuǎn)裝置，緩解了現(xiàn)有技術(shù)中檢測設(shè)備的旋轉(zhuǎn)裝置不能同時顯露晶圓正反面的技術(shù)問題，提高了晶圓的外觀檢測效率。