一種半導(dǎo)體廠房潔凈室

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010108859.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111305612B 公開（公告）日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN111305612B 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) E04H5/02;F24F7/007;F24F13/28;B08B5/02 分類 建筑物;
發(fā)明人 王峻毅;洪震 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海振南工程咨詢監(jiān)理有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201700 上海市青浦區(qū)金澤鎮(zhèn)練西路2725號(hào)-Q2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體廠房潔凈室，涉及潔凈室技術(shù)領(lǐng)域，包括有潔凈工作室，且潔凈工作室內(nèi)設(shè)置有送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)和過(guò)濾系統(tǒng)，潔凈工作室包括有潔凈作業(yè)區(qū)和加工服務(wù)區(qū)，且潔凈作業(yè)區(qū)與加工服務(wù)區(qū)之間設(shè)置有分隔區(qū)；分隔區(qū)包括有垂直送風(fēng)區(qū)和水平送風(fēng)區(qū)，垂直送風(fēng)區(qū)和水平送風(fēng)區(qū)分別形成有縱向氣流墻和橫向氣流墻，且縱向氣流墻與橫向氣流墻之間形成有間隔區(qū)間。潔凈作業(yè)區(qū)內(nèi)設(shè)置有矢量送風(fēng)系統(tǒng)和單向送風(fēng)系統(tǒng)，加工服務(wù)區(qū)內(nèi)設(shè)置有亂流送風(fēng)系統(tǒng)。潔凈作業(yè)區(qū)和加工服務(wù)區(qū)通過(guò)兩者中間的分隔區(qū)以及各自獨(dú)立的送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)以及過(guò)濾系統(tǒng)，達(dá)到限制亂流或者渦流出現(xiàn)的目的，進(jìn)而達(dá)到提高潔凈室內(nèi)空氣潔凈度的目的。