串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821620140.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209167478U 公開（公告）日 2019-07-26
申請公布號 CN209167478U 申請公布日 2019-07-26
分類號 G01R31/28（2006.01）I; G01R1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐四九 申請（專利權(quán)）人 嘉興威伏半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興永航專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 嘉興威伏半導(dǎo)體有限公司
地址 314200 浙江省嘉興市平湖市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)新興二路988號3號樓1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機(jī)構(gòu)，屬于晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域。本串行EEPROM芯片的檢測裝置中的調(diào)節(jié)定位機(jī)構(gòu)，所述的檢測裝置包括具有工作臺的機(jī)體，工作臺上設(shè)置有承載臺，其特征在于，本調(diào)節(jié)定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在工作臺與承載臺之間，包括固定在工作臺上的橫向?qū)к?，橫向?qū)к壣匣瑒釉O(shè)置有橫向滑塊，橫向滑塊與一驅(qū)動電機(jī)一相連；所述的橫向滑塊上設(shè)置有縱向?qū)к墸v向?qū)к壣匣瑒釉O(shè)置有縱向滑塊，縱向滑塊與一驅(qū)動電機(jī)二相連；所述的縱向滑塊上通過周向轉(zhuǎn)動軸向固定的方式設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸與一驅(qū)動電機(jī)三相連，轉(zhuǎn)軸的上端設(shè)置有承載臺。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓在工作臺上的位置調(diào)節(jié)，從而使探針卡對應(yīng)晶圓進(jìn)行精確檢測。