晶圓上實(shí)現(xiàn)SLT自動(dòng)多芯片同測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010760161.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112051496A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112051496A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R31/26(2014.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 寧建宇;徐四九 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 嘉興威伏半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江永航聯(lián)科專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 嘉興威伏半導(dǎo)體有限公司 |
| 地址 | 314200浙江省嘉興市平湖市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)新興二路988號(hào)3號(hào)樓1層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了晶圓上實(shí)現(xiàn)SLT自動(dòng)多芯片同測(cè)系統(tǒng)，屬于芯片測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。本晶圓上實(shí)現(xiàn)SLT自動(dòng)多芯片同測(cè)系統(tǒng)，包括底座，所述底座頂部表面的四角均固定連接有支撐桿，所述支撐桿的頂部固定連接有承載臺(tái)，所述承載臺(tái)頂部的表面開(kāi)設(shè)有安裝槽。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置真空泵、連接管、承載臺(tái)、探針卡、自動(dòng)定位臂、連接線板、容納槽、操作基板、控制面板、系統(tǒng)主板和中央控制中心的配合使用，可將晶圓穩(wěn)定的吸附使其定位，同時(shí)能對(duì)晶圓進(jìn)行自動(dòng)對(duì)中，亦能對(duì)多個(gè)晶圓實(shí)現(xiàn)SLT自動(dòng)多芯片同測(cè)，解決了SLT測(cè)試系統(tǒng)在使用時(shí)，不能對(duì)晶圓穩(wěn)定吸附，不能對(duì)晶圓進(jìn)行自動(dòng)對(duì)中，不能對(duì)多個(gè)晶圓實(shí)現(xiàn)SLT自動(dòng)多芯片同測(cè)的問(wèn)題，大大提高SLT測(cè)試系統(tǒng)的測(cè)試效率。?? |
